عوازل سيراميك مطحونة بخمسة محاور لمعدات أشباه الموصلات والغرف النظيفة

في عالم تصنيع أشباه الموصلات وبيئات الغرف النظيفة عالية المخاطر، يجب أن يُقدم كل مكون أداءً لا تشوبه شائبة.اختبار اللياقة البدنيةنحن متخصصون في صناعةعوازل سيراميك مطحونة بخمسة محاورالتي تُعيد تعريف الدقة والموثوقية. مع أكثر من 20بفضل خبرتنا الممتدة لسنوات عديدة، تم تصميم حلولنا لتلبية المتطلبات الدقيقة لمعدات أشباه الموصلات، وضمان الاستقرار الحراري والعزل الكهربائي والتشغيل الخالي من التلوث في البيئات شديدة الحساسية.

لماذا تختار عوازل السيراميك المطحونة ذات الخمسة محاور الخاصة بنا؟

1.قدرات التصنيع المتقدمة

منشأتنا مجهزة بـأحدث ماكينات الطحن CNC ذات الخمسة محاورمما يتيح دقةً فائقةً في تشكيل السيراميك المتطور مثل الألومينا (Al₂O₃) وكربيد السيليكون (SiC) ونتريد الألومنيوم (AlN). بخلاف الطرق التقليدية، يسمح التصنيع بخمسة محاور بهندسة معقدة، وهو أمر بالغ الأهمية لمكونات مثل دبابيس رفع الرقاقة، وأجزاء حجرة الترسيب، والعوازل المقاومة للبلازما.

الميزات الرئيسية:

•دقة:±0.005 مم التسامح للتكامل السلس في أدوات الطباعة الحجرية ASML أو أنظمة النقش Lam Research.
•تنوع المواد:تم تحسينه لـ 99.8% من أكسيد الألومنيوم، وSiC عالي النقاء، والسيراميك المتقدم الآخر.
•تشطيب السطح:Ra <0.2μm لتقليل توليد الجسيمات في غرف نظيفة من الفئة 1 وفقًا لمعايير ISO.

2.هندسة العمليات الملكية

لقد طور مهندسوناضوابط عملية الحلقة المغلقةتتكيف مع هشاشة السيراميك أثناء التشغيل. بدمج تقنيات الطحن الجاف مع تخميد الاهتزازات الفوري، نحقق أسطحًا خالية من التشققات وعمرًا افتراضيًا أطول للمكونات، حتى في ظل دورات حرارية شديدة (تصل إلى 1600 درجة مئوية).

التركيز على الابتكار:

•بروتوكولات تخفيف التوتر:تقليل الكسور الدقيقة في عوازل AlN لتطبيقات الترسيب الكيميائي البخاري.
•معالجات ما بعد التصنيع:تعمل تقنية HIP (الضغط المتساوي الضغط الساخن) على تعزيز الكثافة ومقاومة التآكل.

3.ضمان الجودة الصارم

كل عازل يخضعفحص من 12 مرحلة، مشتمل:

•آلة قياس الإحداثيات (CMM)التحقق من صحة الأبعاد الحرجة.
•اختبار تسرب الهيليومللتوافق مع الفراغ.
•مطيافية الأشعة السينية المشتتة للطاقة (EDS)للتحقق من نقاء المواد.

ملكنانظام حاصل على شهادة ISO 9001/14001يضمن إمكانية التتبع من عملية شراء المواد الخام (التي يتم الحصول عليها من الموردين من الدرجة الأولى مثل CoorsTek) إلى التعبئة والتغليف النهائي.

التطبيقات: حيث تلتقي الدقة بالأداء

عوازلنا موثوقة في:

•أدوات الحفر والترسيب:مكونات مطلية بـ SiC لمقاومة البلازما في وحدات Applied Materials™.
•زرعات الأيونات:دبابيس رفع الألومينا مع طلاءات مضادة للكهرباء الساكنة لمنع انزلاق الرقاقة.
•أنظمة القياس:عوازل التمدد الحراري المنخفض لمراحل الطباعة الحجرية EUV.

دراسة الحالة:تمكنت إحدى الشركات الرائدة في تصنيع أشباه الموصلات من تقليل وقت تعطل الأدوات بنسبة 40% بعد التحول إلى رؤوس الدش المصنوعة من SiC والمصممة خصيصًا، والتي تفوقت على أجزاء المنافسين في معالجة رقاقة مقاس 300 مم.

ما وراء التصنيع: نهج الشراكة

•النمذجة السريعة:قم بإرسال ملفات CAD الخاصة بك واحصل على نماذج أولية وظيفية في غضون 7 أيام.
•التعبئة والتغليف للغرف النظيفة في الموقع:مجموعة غرفة نظيفة اختيارية من الفئة 10 للتكامل المباشر للأدوات.
•الدعم الفني مدى الحياة:يقدم مهندسونا خدمات تحليل التآكل وإعادة التصنيع لتمديد دورات حياة المكونات.